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基于創制加工式的超鏡面平面研磨拋光工藝方法的研究

陳文清 深圳市沓索科技有限公司沓索研究院; 廣東深圳518172; 香港沓索科技有限公司; 香港999077; 深圳市信一精機科技有限公司超精密加工實驗室; 廣東深圳518172

摘要：以光學鏡面模具平面工件為實驗工件,從加工設備、原材料配制以及工藝精度成形原理等方面系統提出一種超鏡面平面研磨拋光工藝方法,制定相應的工藝實施路線并進行評價。成功解決了研磨拋光過程的潤滑和發熱等問題,從而降低工件表面出現各種微細缺陷的概率,得到完美的鏡面表面。此方法可以廣泛應用與集成電路制造、醫療器械、汽車配件、數碼配件、精密模具、航空航天等領域。

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