TCAD課程設(shè)計(jì)在微電子課程體系中的應(yīng)用與研究
摘要：微電子相關(guān)專業(yè)人才培養(yǎng)中,半導(dǎo)體器件物理和微電子工藝是兩門(mén)重要的專業(yè)核心課程。本文在探討TCAD課程設(shè)計(jì)的開(kāi)設(shè)對(duì)改善和提高這兩門(mén)課程實(shí)驗(yàn)和實(shí)踐教學(xué)的意義基礎(chǔ)上,依據(jù)我們多年來(lái)TCAD課程設(shè)計(jì)的開(kāi)設(shè)經(jīng)驗(yàn),對(duì)TCAD課程設(shè)計(jì)中的題目設(shè)置、結(jié)果評(píng)價(jià)方式等進(jìn)行了討論。通過(guò)近兩年TCAD課程設(shè)計(jì)與半導(dǎo)體器件物理和微電子工藝課程的平行開(kāi)設(shè),它的提高和改善作用通過(guò)考試成績(jī)的得到了很好的驗(yàn)證。
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