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入口條件對(duì)D4合成石英玻璃的影響

黃澤宇; 黃耀松; 陳靖; 鄭麗麗 清華大學(xué)航天航空學(xué)院; 北京100084

摘要：通過(guò)對(duì)D4合成石英玻璃過(guò)程的數(shù)值模擬研究,分析了氫氧當(dāng)量比、氫氧質(zhì)量流量、D4和載氣總流量對(duì)沉積面溫度和組分分布以及沉積位置的影響,并根據(jù)石英玻璃軟化溫度優(yōu)化了沉積面形狀.研究結(jié)果表明,氫氧當(dāng)量比為1.0時(shí),沉積面上溫度和組分濃度梯度都比較大.適當(dāng)?shù)亟档彤?dāng)量比或者氫氧質(zhì)量流量,增加中心入口流量,可以減少OH生成,提高SiO2產(chǎn)量,改善沉積面上組分濃度分布均勻性;但流量過(guò)低,會(huì)導(dǎo)致沉積效率下降.沉積位置應(yīng)根據(jù)火焰溫度進(jìn)行調(diào)整,沉積面上非均勻的溫度分布一定程度上是由于物理模型中沉積面形狀的不合理造成的,偏平狀的沉積面更加符合實(shí)際情況.

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