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納米壓痕法表征BNT薄膜的壓電性能

廖艷果 胡和平 鄭學(xué)軍 南華大學(xué)數(shù)理學(xué)院 湖南衡陽421001 湘潭大學(xué)低維材料及其應(yīng)用教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室 湖南湘潭411105

摘要：利用有限元方法模擬了BNT薄膜/基底體系的納米壓痕過程,分析討論了BNT薄膜的壓電參數(shù)對加載的最大壓痕載荷、加載曲線指數(shù)的影響,用量綱分析結(jié)合有限元方法建立了壓痕的加載參數(shù)和BNT薄膜的壓電參數(shù)的無量綱關(guān)系.

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