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圖像式角位移測量技術研究進展與展望

賈興丹; 萬秋華; 于海; 趙長海; 杜穎財 中國科學院大學長春光學精密機械與物理研究所; 吉林長春130033; 中國科學院大學; 北京100049

摘要：圖像式角位移測量技術是采用數(shù)字圖像處理技術實現(xiàn)光電位移精密測量的新興技術。因其較傳統(tǒng)莫爾條紋技術更能在小尺寸光柵碼盤下實現(xiàn)高精度、高分辨力的角位移測量,已成為當前的研究熱點之一。為了進一步研究圖像式角位移測量技術,本文系統(tǒng)的對現(xiàn)有的使用圖像探測器的測量技術進行了分析,總結了國內外發(fā)展現(xiàn)狀的優(yōu)缺點,并對圖像式角位移測量技術的發(fā)展進行了展望,為高精度高分辨力角位移測量技術的研究提供依據(jù)。

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