《微納電子技術(shù)》(ISSN 1671-4776、CN13-1314/TN、CODEN WJEIAB)是中文核心期刊，是國家新聞出版局批準公開發(fā)行、中國電子科技集團公司主管、中國電子科技集團公司第十三研究所主辦的科技期刊。

《微納電子技術(shù)》的前身是《半導(dǎo)體情報》，創(chuàng)刊于1964年。2002年為了順應(yīng)國內(nèi)外納米科技發(fā)展的趨勢，《半導(dǎo)體情報》完成了其歷史使命，更名為《微納電子技術(shù)》，是中國較早公開出版發(fā)行的涉足納米科學(xué)與技術(shù)領(lǐng)域的期刊，對國內(nèi)納米科學(xué)與技術(shù)、MEMS技術(shù)等領(lǐng)域具有一定的影響。其內(nèi)容包括：納米電子學(xué)、納米電子器件、納米材料、納米測量技術(shù)與設(shè)備、MEMS器件與技術(shù)、納米技術(shù)應(yīng)用以及國內(nèi)外納米材料與器件的最新進展報道，兼顧微電子領(lǐng)域的最新研究成果和進展。欄目分為：技術(shù)論壇，器件與技術(shù)，材料與結(jié)構(gòu)，MEMS與傳感器，加工、測量與設(shè)備。

《微納電子技術(shù)》是中文核心期刊、中國科技核心期刊，不僅被國內(nèi)的中國知網(wǎng)（CNKI）數(shù)據(jù)庫、科技期刊世界影響力指數(shù)（WJCI）報告、中國學(xué)術(shù)期刊綜合評價數(shù)據(jù)庫、萬方數(shù)據(jù)庫、中國科技論文統(tǒng)計源等收錄，而且被國外的美國《化學(xué)文摘》（CA）、美國《劍橋科學(xué)文摘》（CSA）、英國《科學(xué)文摘》（SA，INSPEC）、俄羅斯《文摘雜志》（AJ.VINITI）、美國《烏利希期刊指南》收錄。