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融合試驗(yàn)數(shù)據(jù)的模擬集成電路可靠性預(yù)計(jì)修正方法研究

高成; 王長(zhǎng)鑫; 黃姣英; 曹陽 北京航空航天大學(xué)可靠性與系統(tǒng)工程學(xué)院; 北京100191

摘要：以集成電路的特征尺寸和工藝水平為分類標(biāo)準(zhǔn),將標(biāo)準(zhǔn)手冊(cè)中的可靠性預(yù)計(jì)模型與實(shí)際的加速壽命試驗(yàn)數(shù)據(jù)進(jìn)行結(jié)合,得到集成電路可靠性預(yù)計(jì)修正方法。通過此可靠性預(yù)計(jì)修正方法,能計(jì)算出集成電路的工藝修正系數(shù)數(shù)值,進(jìn)而應(yīng)用于可靠性預(yù)計(jì)模型之中,對(duì)集成電路可靠性預(yù)計(jì)方法進(jìn)行修正。修正后的可靠性預(yù)計(jì)方法能夠更加準(zhǔn)確的對(duì)其可靠性進(jìn)行預(yù)計(jì),解決了現(xiàn)有標(biāo)準(zhǔn)手冊(cè)模型不能完全準(zhǔn)確體現(xiàn)出制造工藝發(fā)展的實(shí)際問題。

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