一種導軌直線度與平行度測量系統的研究與應用
摘要：導軌直線度與平行度的測量通常采用接觸式掃描法和光學測量法，這些方法通常需要高精度的直線度物理基準和激光干涉儀等昂貴儀器使得測量成本大大提高。為克服上述缺點，提出了一套基于四象限光電探測器（簡稱四象限）結合雙軸水平儀實現導軌直線度與平行度測量的測量系統。通過標定實驗，比對實驗和穩定性實驗證明了該測量系統的準確性和穩定性。利用該測量系統對導軌進行測量調整后，基準軌水平與豎直兩個方向的直線度誤差分別從150μm和120μm降低至42μm和36μm，測量軌與基準軌在水平與豎直兩個方向的平行度誤差也分別從327μm和524μm降低至45μm和51μm。
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