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微機(jī)械陀螺沖擊特性及可靠性研究

何春華; 趙前程; 楊振川; 張大成; 閆桂珍 北京大學(xué)微電子學(xué)研究院微米/納米加工技術(shù)部級(jí)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室; 北京100871; 美的集團(tuán); 廣東佛山528311

摘要：為了深入掌握微機(jī)械陀螺的沖擊響應(yīng)特性,本文進(jìn)行了詳細(xì)的理論推導(dǎo)和MATLAB仿真分析,并進(jìn)行了測試驗(yàn)證。沖擊試驗(yàn)結(jié)果表明,理論分析和試驗(yàn)結(jié)果基本一致,考慮最壞情況可知,當(dāng)脈寬對應(yīng)的沖擊頻率與陀螺固有頻率越接近,并且陀螺品質(zhì)因子和沖擊加速度幅值越大時(shí),則沖擊帶來的影響就越大,梁越容易發(fā)生斷裂失效。因此要使MEMS陀螺具有較強(qiáng)的抗沖擊能力,必須綜合優(yōu)化設(shè)計(jì)陀螺的真空度和固有頻率。

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