光刻機試驗運動裝置振動信號的時頻分析
摘要：步進掃描光刻機在工作狀態下振動特性的好壞對其性能起著重要作用.為給步進掃描光刻機的設計研究提供理論指導,設計了一種步進掃描光刻機模擬試驗運動裝置,它能夠完全再現步進掃描光刻機的運動特點.在此基礎上,對試驗裝置的關鍵部件進行了振動測試,運用傅里葉變換和現代聯合時頻分析技術對測得的數據分別進行了分析,結果表明,采用聯合時頻分析技術更能反映系統的固有性質和振動特性,所得到的參數和結果對指導步進掃描光刻機隔振裝置的設計具有一定的實際意義.
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