摘要：以雙頻激光干涉儀在電子束曝光機(jī)精確定位中的運(yùn)用為例(其具有典型的代表性),研究環(huán)境因素對(duì)微納加工中精確定位的影響,并針對(duì)溫度是其中影響最大的因素,提出了一種實(shí)時(shí)溫度補(bǔ)償方法,修正了測量結(jié)果由于熱膨脹不能真實(shí)反映工件臺(tái)位置帶來的定位誤差.
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