電子束環氧基負膠的曝光反應機理分析
摘要：從高分子輻射化學的角度對電子束環氧基負膠曝光的實際反應機理進行了深入的分析研究.通過Charlesby-Pinner關系式推導得出輻射交聯反應中一些表征量(溶膠分數等)與輻射劑量的定量關系.通過SDS-Ⅱ型曝光機對環氧Epoxy1618進行曝光實驗,驗證了上述結論的準確性,該論證結果用于指導電子束曝光參數的選取.
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