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加急見(jiàn)刊

碲鎘汞器件光敏元電容測(cè)試與分析

任士遠(yuǎn); 林春; 魏彥鋒; 周松敏; 王溪; 郭慧君; 陳路; 丁瑞軍; 何力 中國(guó)科學(xué)院上海技術(shù)物理研究所紅外成像材料與器件重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室; 上海200083; 中國(guó)科學(xué)院大學(xué); 北京100049; 上海科技大學(xué)信息科學(xué)與技術(shù)學(xué)院; 上海210210

摘要:報(bào)道了液氮溫度下對(duì)HgCdTe器件進(jìn)行電容測(cè)試的方法。標(biāo)定了儀器寄生電容以及杜瓦寄生電容,并利用該測(cè)試結(jié)果計(jì)算得到PN結(jié)區(qū)附近的載流子濃度和相應(yīng)的深度等數(shù)據(jù)。對(duì)比了碲鎘汞常規(guī)PN結(jié)器件與雪崩光電二極管(APD)器件的耗盡層寬度以及N區(qū)載流子濃度。

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