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基于CMOS平臺(tái)的硅光子關(guān)鍵器件與工藝研究

趙瑛璇; 武愛民; 甘甫烷 中國科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所; 上海200050

摘要：面向互補(bǔ)金屬氧化物半導(dǎo)體(CMOS)工藝兼容的硅基光互連體系,研制了包括光波導(dǎo)、光柵耦合器、刻蝕衍射光柵、偏振旋轉(zhuǎn)分束器、光頻梳以及3D互連新器件等的硅光子關(guān)鍵器件,并對(duì)相應(yīng)器件的設(shè)計(jì)及工藝給出了最新的研究結(jié)果。基于以上關(guān)鍵硅光子器件進(jìn)行了大規(guī)模光子集成,實(shí)現(xiàn)了片上集成的微波任意波形發(fā)生器,并集成了300多個(gè)光器件,包括高速調(diào)制、延遲線和熱調(diào)等功能。面向數(shù)據(jù)通信研制了八通道偏振不敏感波分復(fù)用(WDM)接收器,解決了集成系統(tǒng)中的偏振敏感問題。

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