液體靜壓絲杠驅(qū)動(dòng)的超精密運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)設(shè)計(jì)與實(shí)驗(yàn)研究
摘要：本文設(shè)計(jì)了液體靜壓絲杠驅(qū)動(dòng)的超精密直線運(yùn)動(dòng)系統(tǒng),完成了機(jī)械結(jié)構(gòu)、控制系統(tǒng)裝配與搭建;通過(guò)實(shí)驗(yàn)表明液體靜壓絲杠驅(qū)動(dòng)的運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)能夠達(dá)到10nm運(yùn)動(dòng)分辨率（反饋分辨率5nm）,具有良好的剛度特性、穩(wěn)態(tài)特性以及動(dòng)態(tài)跟蹤特性,適合作為超精密加工設(shè)備的驅(qū)動(dòng)裝置。
注: 保護(hù)知識(shí)產(chǎn)權(quán),如需閱讀全文請(qǐng)聯(lián)系航空精密制造技術(shù)雜志社
相關(guān)推薦
更多.jpg)
與嵌入式系統(tǒng)應(yīng)用.jpg)
彈與航天運(yùn)載技術(shù).jpg)
測(cè)技術(shù).jpg)
.jpg)
于我們.jpeg)