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氮化硅陶瓷球研磨拋光技術研究進展

肖曉蘭; 閻秋生; 林華泰; 焦競豪; 劉杰 廣東工業大學機電工程學院; 廣東廣州510006; 廣州番禺職業技術學院機電工程學院; 廣東廣州511483

摘要：氮化硅陶瓷球是重大裝備中軸承的關鍵基礎元件,球體的超精密研磨拋光質量是影響軸承性能與壽命的重要因素.本文從加工方法的角度,總結了陶瓷球研磨拋光技術的研究進展,對不同的陶瓷球超精密復合拋光方法進行了比較分析,并提出了一種新型拋光方法,即集群磁流變拋光陶瓷球的方法.該方法初步測試顯示,經3 h的拋光,氮化硅陶瓷球的表面粗糙度Ra由50 nm下降到5 nm,球度達到0.11～0.22μm.

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