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UV LIGA技術(shù)在毫米波太赫茲器件中的應(yīng)用進(jìn)展

李含雁; 馮進(jìn)軍 中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第十二研究所大功率微波電真空器件技術(shù)國(guó)防科技重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室; 北京100015

摘要：采用紫外光刻電鑄和微成型(UVLIGA)技術(shù)制造太赫茲真空器件的高頻結(jié)構(gòu),頻率為94~220GHz。對(duì)于94GHz高頻結(jié)構(gòu),尺寸誤差≤15μm,采用此高頻結(jié)構(gòu)的脈沖行波管輸出功率大于100W;180GHz高頻結(jié)構(gòu),尺寸誤差≤5μm,采用此高頻結(jié)構(gòu)的太赫茲行波管二倍頻器輸出功率高于100mW,帶寬為11.4GHz;220GHz高頻結(jié)構(gòu),尺寸誤差≤3μm,衰減因子為240dB/m。UVLIGA技術(shù)在太赫茲真空器件中的成功應(yīng)用,不但為毫米波太赫茲器件研制奠定了基礎(chǔ),同時(shí)也為UVLIGA技術(shù)在設(shè)計(jì)制造毫米波太赫茲器件領(lǐng)域,包括有源和無源器件,開辟了一番新天地。

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