LGS聲表面波雙模溫度傳感器研究
摘要：該文研究了基于硅酸鎵鑭（La3Ga5SiO14,LGS）壓電襯底的聲表面波（SAW）諧振器的瑞利波模式諧振頻率和體聲波模式諧振頻率的溫度特性,并利用這兩種模式構建了一種寬溫度范圍的具有線性輸出特性的溫度傳感器。研究結果表明,基于LGS襯底的諧振器的瑞利波模式和體波模式的諧振頻率均與溫度成二次函數關系,且二階頻率溫度系數接近,利用此特性構建的雙模溫度傳感器測試結果和熱電偶測試結果基本一致。該文提出的這種雙模溫度傳感器可獲得全溫度范圍的線性輸出特性,可應用于LGS高溫SAW溫度傳感器。
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