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壓電基片上微液滴沿球形表面輸運特性研究

章安良; 董良威; 劉尉悅 武夷學院微電子系; 福建武夷山354300; 常州工學院電子系; 江蘇常州213022; 寧波大學微納電子系統研究所; 浙江寧波315211

摘要:研究了聲表面波驅動壓電基片上微液滴沿球形表面輸運特性。球珠底部采用聚二甲基硅氧烷點粘在128°YX-LiNbO3壓電基片上,并放在恒溫箱中固化。壓電基片上微液滴在聲表面波驅動力和球珠阻力的共同作用下沿球珠表面輸運。為便于觀察,采用紅墨水溶液為實驗對象,對球形表面微液滴聲表面波作用下輸運特性進行了研究。結果表明,微液滴在球形表面上輸運特性取決于激發聲表面波的電信號功率、球珠直徑和微液滴體積。3μL微液滴在28.7dBm電信號功率下,可以輸運到直徑2mm的球珠頂端。

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